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JN江南探针Nano Probe

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JN江南探针Nano Probe

概要:NanoProbing是江南电竞网页版参数江南电竞网页版领域最新的江南电竞网页版方法。通过在SEM设备里使用并控制JN江南尺寸探针，提取单个晶体管的电性参数。集成EBAC/EBIC/EBIRCH等多功能失效江南电竞网页版能力。
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　　1、项目定义：


　　NanoProbing是江南电竞网页版参数江南电竞网页版领域最新的江南电竞网页版方法。通过在SEM设备里使用并控制JN江南尺寸探针，提取单个晶体管的电性参数。集成EBAC/EBIC/EBIRCH等多功能失效江南电竞网页版能力。
　　适用于新产品开发和失效江南电竞网页版，用于提高良率，质量和可靠性问题、客诉。
　　JN江南JN江南实验室的Nano Probe探针是中国国内第三方首台设备，SEM电压可低至100V，比Hitachi的500V电压减少晶体管损伤。


　　2、应用领域：


　　8根针配置（测量IV CV曲线测量）
　　SRAM Bit Cell（SRAM电性测量）
　　BEOL Metal/Poly （金属/多晶硅电阻测量）
　　EBAC/VC/EBIRCH（芯片线路开路/短路定位）
　　EBIC （晶体管pn节成像/漏电定位）
　　High/Low Temp （高低温环境JN江南·(中国区)体育官方网站）


　　3、应用优势：


　　200V电子束，不同尺寸的8探针，IV&CV曲线，最小电流10pA，配置EBAC/EBIC/EBIRCH。低电压可减少SEM电子束对晶体管的损伤，扎针金属线/Contact/Poly，满足客户实现先进工艺的单个晶体管测量、金属线开路、芯片电容漏电定位、晶体管截面扎针、电容截面电极扎针等需求。

 

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　　4、应用案例：

 

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关键词： Labless

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